Физика микроэлектронных приборов :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Т. Д. Шермергор (отв. ред. ) и др.]. 
 - Москва :  МИЭТ,  1984. 
 - 122 с. :  ил. ;  20 см. 
 - 621.38(NLA) .
<br/><br/>Библиогр. в конце ст.: 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Физические основы 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38(NLA)