Физико-технологические основы микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
М-во высш. и сред. спец. образ. УзССР ; Ташкентский политехнический ин-т им. Абу Райхана Беруни ; Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др. 
 - Ташкент :  Изд-во Ташкентского ПИ ,  1985. 
 - 96 с. :  ил. ;  20 см. 
 - 621.38(NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38(NLA)