TY  - BOOK
ED  - Государственный плановый комитет совета министров Украинской ССР
ED  - Украинский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований
TI  - Совершенствование технологии производства полупроводниковых приборов
PY  - 1969///
CY  - Киев
PB  - УкрНИИНТИ
KW  -  Полупроводниковые приборы
KW  -  Производство
ER  -