Совершенствование технологии производства полупроводниковых приборов / 
Гос. плановый ком. совета мин. Украинской ССР ; Украин. научно-исслед. ин-т научно-техн. информ. и технико-экономич. исслед. 
 - Киев :  УкрНИИНТИ,  1969. 
 - 59 с. :  черт., табл. ;  21см. 
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/> Полупроводниковые приборы -- Производство 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)