TY  - BOOK
AU  - Раков,Эдуард Григорьевич
AU  - Тесленко,Владимир Викторович
TI  - Химия в микроэлектронике: (Химические осаждение из газовой фазы) 
T2  - Новое в жизни, науке, технике. Химия
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Знание
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 41-42 (9 назв.)
ER  -