Раков, Эдуард Григорьевич <br/><br/>
Химия в микроэлектронике :  (Химические осаждение из газовой фазы) / 
Э.Г. Раков, В.В. Тесленко. 
 - Москва :  Знание,  1988. 
 - 48 с. :  ил., черт., табл. ;  24 см. 
 - Новое в жизни, науке, технике. Химия  4/1988 .
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 41-42 (9 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)