TY  - BOOK
AU  - Холопов,В.В.
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
ED  - Казанский авиационный институт им. А.Н. Туполева.
TI  - Разработка технологического процесса изготовления гибридных интегральных схем: Учебное пособие по курсу "Технология интегральных схем частного применения" 
PY  - 1977///
CY  - Казань
PB  - Б. и.
KW  - Интегральные схемы
KW  - Учебные пособия
N1  - Библиогр.: с. 86
ER  -