Сборник научных трудов  «Физические основы микроэлектроники» / 
Мин. высш. и сред. специаль. образ. СССР ; Моск. ин-т электронной техн. 
 - Москва :  [Б.и.],  1979. 
 - 123 с. :  черт. ;  21 см. 
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)