TY  - BOOK
AU  - Барканов,Н.А
AU  - Козыр,И.Я.
AU  - Митрофанов,О.В.
AU  - Самохвалов,Г.К.
AU  - Шер,Ю.А.
AU  - Ефимов,И.Е.
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования СССР
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - 2Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем: (Учебное пособие) 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - [б.и.]
KW  - Микроэлектроника
N1  - Часть 1 (1971 ; черт., табл., 292 с.); Часть 2 (1971 ; черт., табл., 348 с.)
ER  -