2Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем :  (Учебное пособие) / 
Н.А. Барканов, И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, О.В. Митрофанов, Г.К. Самохвалов, Ю.А. шер ; Под ред.: И.Е. Ефимова ; Мин. высш. и сред. специаль. образ. СССР, ; Моск. ин-т электронной техн. 
 - Москва :  [б.и.],  1971. 
 - Часть ;  20 см. 
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/> Часть 1 (1971 ; черт., табл., 292 с.)  Часть 2 (1971 ; черт., табл., 348 с.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)