Моряков, Олег Сергеевич <br/><br/>
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства :  Учебник для средних профессионально-технических училищ / 
О.С. Моряков. 
 - 3-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высшая школа,  1981. 
 - 336 с. :  черт., табл. ;  21 см. 
 - Профтехобразование. Полупроводники .
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 334 (9 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковое производство
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)