TY  - BOOK
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования СССР
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем: Сборник научных трудов 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
N1  - Библиогр. после работ
ER  -