TY  - BOOK
AU  - Мокеев,Олег Константинович
AU  - Романов,Александр Сергеевич
TI  - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: [Учебник для средних ПТУ] 
T2  - Профессионально-техническое образование
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Высш. школа
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - Учебники и пособия
KW  - Полупроводниковые приборы
ER  -