Мокеев, Олег Константинович <br/><br/>
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем :  [Учебник для средних ПТУ] / 
О.К. Мокеев,  А.С. Романов. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высш. школа,  1985 
 - 312 с. :  черт., табл. ;  20 см. 
 - Профессионально-техническое образование .
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы, интегральные--Производство--Учебники и пособия<br/>Полупроводниковые приборы--Производство--Учебники и пособия
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)