TY  - BOOK
AU  - Малин,Б.В.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Техника изготовления фотошаблонов-трафаретов для производства кремниевых интегральных схем
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ «Электроника»
KW  - Микроэлектроника
ER  -