Замора, Евгений Федорович <br/><br/>
Технологическая гигиена в производстве микросхем / 
Е.Ф. Замора, М.Д. Матвийкив. 
 - Львов :  Каменяр,   1975. 
 - 136 с. :  черт., табл. ;  20 см. 
 - БПО. Технология производства .
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/>Список лит.: с. 132-133 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная техника<br/>Микроэлектронные схемы, интегральные--Производство
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)