TY  - BOOK
AU  -  Колешко,Владимир Михайлович
AU  - Гойденко,Петр Петрович
AU  -  Буйко,Лев Дмитриевич
ED  -  Акедемия наук Белорусской ССР :
TI  -  Контроль в технологии микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  -  Микроэлектронные схемы, интегральные, большие
KW  -  Производство
KW  -  Технический
N1  - Библиогр.: с. 293-310 (736 назв.)
ER  -