TY - BOOK AU - Вершинин О.Е. AU - Румянцев В.В ED - Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР ED - Ленинградский электротехнический институт имени В.И. Ульянова TI - Разработка микроэлектронных устройств управления технологическими процессами: Учебное пособие PY - 1980/// CY - Ленинград PB - Б. и. KW - Микроэлектронные устройства ER -