TY  - BOOK
AU  - Запорожский,Владимир Петрович
AU  - Лапшинов,Борис Алексеевич
TI  - Обработка полупроводниковых материалов: [Учебное пособие для средних ПТУ] 
PY  - 1988///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа, 
KW  - Полупроводниковые материалы
KW  - Учебные пособия
N1  - Библиогр.: с. 183 (7 назв.)
ER  -