Запорожский, Владимир Петрович Обработка полупроводниковых материалов : [Учебное пособие для средних ПТУ] / В.П. Запорожский, Б.А. Лапшинов. - Москва : Высшая школа, 1988. - 184 с. : черт., табл. ; 20 см. - 621.38 (NLA) . Библиогр.: с. 183 (7 назв.) Subjects--Topical Terms: Полупроводниковые материалы--Учебные пособия Universal Decimal Class. No.: 621.38 (NLA)