TY  - BOOK
AU  - Есипова,Маргарита Андреевна
ED  - Министерство электронной промышленности СССР.
TI  - Химическая обработка полупроводниковых материалов
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - [б. и.]
KW  - Полупроводниковые материалы
ER  -