Химическая обработка полупроводниковых материалов /
М. Е. Есипова ; Министерство электронной промышленности СССР.
- Москва : [б. и.], 1971.
- 95 с. : ил. ; 21 см.
- Обзоры по электронной технике ; Серия: Технология и организация производства ; Вып. 12 (285). .
- 621.38 .