TY  - BOOK
AU  - Качурина,Евгения Ефимовна
AU  - Немировский,Л.Н.
AU  - Щеглова,В.В.
ED  - Министерство электронной промышленности.
TI  - Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (Реферативно-аналитический обзор) 
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - [б. и.]
KW  - Электронная техника
N1  - Библиогр.: с. 56-66
ER  -