Качурина, Евгения Ефимовна <br/><br/>
Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии :  (Реферативно-аналитический обзор) / 
Е.Е. Качурина, Л.Н. Немировский, В.В. Щеглова ; Министерство электронной промышленности. 
 - Москва :  [б. и.],  1976. 
 - 66 с. :  ил. ;  21 см. 
 - Обзоры по электронной технике ;  Серия 2 . Полупроводниковые приборы ;  Вып. 9. .
 - 621.38 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 56-66. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная техника.
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38