TY  - BOOK
AU  - Воробьев,Н.Н.
AU  - Рябкин,Ю.С.
AU  - Федотов,Я.А.
ED  - Министерство электронной промышленности
TI  - Машинное проектирование полупроводниковых приборов и интегральных схем
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ «Электроника»
KW  - Машинное проектирование
KW  - Полупроводниковая электроника и  микроэлектроника
ER  -