Грищенко, Анатолий Федорович <br/><br/>
Ионное легирование в микроэлектронике :  Учебное пособие для средних ПТУ / 
А.Ф. Грищенко. 
 - Москва :  Высшая школа,   1985. 
 - 48 с. :  черт., табл. ;  20 см. 
 - Профессионально-техническое образование .
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 47-48 (9 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)