TY  - BOOK
AU  - Деркач,В.П.
AU  - Кияшко,Г.Ф.
AU  - Кухарчук,М.С.
ED  - Академия наук Украинской ССР
TI  - Электроннозондовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
PY  - 1973///
CY  - Киев
PB  - [Б.и.]
KW  - Микроэлектроника
ER  -