Деркач, В.П. <br/><br/>
Электроннозондовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике / 
В.П. Деркая, Г.Ф. Кияшко, М.С. Кухарчук ; АН Украинской ССР , Ин-т кибернетики , Секция «Физико-технологичесйие вопросы кибернетики». 
 - Киев :  [Б.и.],  1973. 
 - 34 с. :  черт. ;  20 см. 
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)