TY - BOOK AU - Достанко,Анатолий Павлович TI - Технология интегральных схем: Учебное пособие для радиотехнических специальностей вузов PY - 1982/// CY - Минск PB - Вышэйшая школа KW - Электроника KW - Радиотехника N1 - Библиогр.: с. 204 ER -