TY  - BOOK
AU  - Боков,Юрий Сергеевич
ED  - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры.
TI  - Фото-, электронно- и рентгенорезисты
T2  - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
PY  - 1982///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Фотолитография
KW  - Микроэлектронные схемы
KW  - Производство
N1  - На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА; Библиогр.: с. 129-135 (155 назв.)
ER  -