TY  - BOOK
AU  - Ионина,Наталья Миркирьевна
AU  - Славинская,В.Н.
AU  - Телешов,Б.В.
AU  - Фридман,В.Е.
TI  - Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах / 
T2  - Обзоры по электронной технике. Серия: Технология и организация производства ; 
PY  - 1971///
CY  - Москва : 
PB  - Институт ЦНИИ "Электроника", 
N1  - Библиогр.: с. 39-40
ER  -