TY  - BOOK
AU  - Каверзнев,Владимир Александрович
AU  - Зайцев,Анатолий Александрович
AU  - Овечкин,Юрий Алексеевич
TI  - Статическое электричество в полупроводниковой промышленности
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Электричество
ER  -