Каверзнев, Владимир Александрович <br/><br/>
Статическое электричество в полупроводниковой промышленности / 
В.А. Каверзнев, А.А. Зайцев, Ю.А. Овечкин. 
 - Москва :  Энергия ,  1975. 
 - 113 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электричество