TY  - BOOK
AU  - Готра,Зенон Юрьевич
TI  - Справочник по технологии микроэлектронных устройств
PY  - 1986///
CY  - Львов
PB  - Каменяр
KW  - Машиностроение
KW  - Справочник
KW  - Технология микроэлектронных устройств
N1  - Библиогр.: с. 284 - 285 (22 назв.)
ER  -