Современные проблемы эллипсометрии :  [Сборник статей] / 
Отв. ред. А.В. Ржанов. 
 - Новосибирск :  Наука. Сиб. отд-ние ,  1980. 
 - 192 с. :  и ;  .  22 см. 
<br/><br/>АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 2.40 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Сборники<br/>Эллипсометрия