Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы /
Г.В. Шуваев, О.М. Чигринский, О.И. Бочкин; М-во электронной пром-сти СССР.
- Москва : Электроника, [1975].
- 42 с. : ил., черт., табл. ; 21 см.
- Обзоры по электронной технике. Серия: Технология, организация производства и оборудование Вып. (2)285 .
- 621.315 (NLA) .