Полупроводниковые материалы : Учебное пособие / Часть III : Введение в технологию полупроводников :
Ф.Л. Эдельман ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Новосибирский государственный университет.
- Новосибирск : [б. и.], 1978.
- 90 с. : ил. ; 20 см.
- 621.315 .