TY  - BOOK
ED  - Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
ED  - Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
ED  - Горьковский исследовательский физико-технический институт "ГИФТИ"
TI  - Научая конференция "Физические основы ионно-лучевого легирования": Тезисы докладов 
PY  - 1971///
CY  - Горький
PB  - [б. и.]
KW  - Полупроводники
KW  - Легирование ионнное
KW  - Тезисы докладов
ER  -