Научая конференция "Физические основы ионно-лучевого легирования" :  Тезисы докладов / 
М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т "ГИФТИ".  
 - Горький :  [б. и.],  1971. 
 - 62 с. ;  19 см. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники--Легирование ионнное--Тезисы докладов