Технология размерной обработки полупроводниковых материалов : Учебное пособие /
А. Н. Комов, А. И. Колпаков, Б. Д. Рафаевич, Л. Л. Дорофеев ; Куйбышевский государственный университет.
- Куйбышев : Куйбышев. ун-т, 1976.
- 83 с. : ил. ; 20 см.
- 621.315 .