TY  - BOOK
TI  - Технические требования на особочистые вещества для полупроводниковой техники
PY  - 1959///-
CY  - М.
PB  - Б. и.
KW  - Полупроводники
N1  - Вып. 1 (1959 ; 60 с., табл.); Вып. 2(1960 ; 16 с.)
ER  -