Титов, В.В. <br/><br/>
Имплантационное легирование полупроводников / 
В.В. Титов ; М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника". 
 - Москва :   Б. и.,   1974-. 
 - Ч. ;  21 см. 
 - Обзоры по электронной технике :   Вып. 10(223) .
 - Обзоры по электронной технике :   Вып. 10(223) .
<br/><br/> Ч. 1. (1974 ; 63 с.)  
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы