Методы наблюдения и контроля дефектов в полупроводниковых материалах и структурах : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1958-1975 гг.) /
Ю.М. Литвинов, Т.И. Ольховикова, Ф.Р. Хашимов; М-во электронной пром-сти СССР.
- Москва : Б. и., 1976.
- 34 с. : ил. ; 21 см.
- Обзоры по электронной технике ; Серия 6, Материалы Вып. 3(373) .