TY  - BOOK
AU  - Нашельский,Александр Яковлевич
TI  - Технология полупроводниковых материалов: Учеб. пособие для повышения квалификации и переподгот. мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового пр-ва 
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводниковые
KW  - Производство
KW  - Учебники и пособия
N1  - Предм. указ.: с. 333-335; Библиогр.: с. 331-332
ER  -