Нашельский, Александр Яковлевич <br/><br/>
Технология полупроводниковых материалов :  Учеб. пособие для повышения квалификации и переподгот. мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового пр-ва / 
А. Я. Нашельский. 
 - М. :  Металлургия,  1987. 
 - 334,[1] с. :  ил. ;  21 см. 
<br/><br/>Предм. указ.: с. 333-335 Библиогр.: с. 331-332 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые--Производство--Учебники и пособия