TY  - BOOK
AU  - Дорфман,Вениамин Фриделевич
TI  - Газофазная микрометаллургия полупроводников
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Микрометаллургия
KW  - Газофазная микрометаллургия полупроводников
N1  - Библиогр.:  с. 179 (300  назв.)
ER  -