Технология полупроводниковых материалов : Раздел Расчеты по технологии полупроводниковых материалов : Курс лекций /
В.В. Крапухина, И. А.Соколов ; Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
- Москва : Б. и., 1979.
- 84 с. ил. 21 см.
- 621.315 (NLA) .