TY  - BOOK
AU  - Кузнецов,Ф.А.
ED  - Ин-т физики полупроводников СО АН СССР
ED  - Ин-т неорганической химии
TI  - Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
PY  - 1984///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Общетехнические дисциплины
ER  -