TY  - BOOK
AU  - Попов,Виктор Кузьмич
AU  - Ячменев,Станислав Николаевич
TI  - Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производвство - Механизация
KW  - Электронно-ионная технология
N1  - На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА; Библиогр. 69 назв
ER  -