Попов, Виктор Кузьмич. <br/><br/>
Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии / 
В.К. Попов, С.Н. Ячменев. 
 - Москва :  Радио и связь,  1985. 
 - 128 с. :  ил. 
 - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры .
<br/><br/> На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА 
<br/><br/>Библиогр. 69 назв. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы интегральные - Производвство - Механизация<br/>Электронно-ионная технология